СТАТЬИ О ПРИМЕНЕНИИ

Пирометры для измерения температуры в полупроводниковой промышленности

Инфрадьюсер М680 от фирмы МИКРОН представляет собой крупнейшее достижение в технологии измерения температуры по инфракрасному излучению бесконтактным методом.

Этот уникальный многоканальный волоконно-оптический инфракрасный термометр работает в исключительно широком температурном диапазоне от 150° С до 3600° С в пределах выбранной спектральной чувствительности от 0,65 до 1,6 микрон. Эта комбинация характеристик делает М680 идеальным измерительным прибором для широкого спектра сфер применения, в которых требуется точное измерение температуры сразу в нескольких местах, а именно:

• Быстрая термообработка полупроводников, химическое осаждение из паровой или газовой фазы, плазменное травление, эпитаксиальные реакторы
• Выращивание кристаллов
• Индукционная термообработка
• Производство и термообработка металлов
• Стеклоплавильные и стекловаренные печи
• Плавка металлов в вакууме

Пользователи приборами М680 фирмы МИКРОН могут выбрать от 1 до 4 измерительных каналов, а также имеют возможность широкого выбора объективов, оптических кабелей разной длины и температурных диапазонов. Использование объектива и волоконно-оптического кабеля позволяет производить измерение температуры объектов, находящихся вне прямой линии визирования датчика. К другим достоинствам прибора можно отнести возможность установки электронного модуля с чувствительным элементом на безопасном расстоянии от теплового источника, исключение необходимости водяного охлаждения при применении в таких производствах, как стекловаренные и металлургические печи, а также возможность проводить измерения температуры внутри закрытых емкостей и резервуаров или в средах с радиоактивным и электромагнитным излучением. Применение прибора М680 с многоканальной конфигурацией вместо нескольких приборов с одним каналов приводит к экономии средств.

Другие характеристики М680:

• автоматическая калибровка при замене волоконно-оптических кабелей
• измерение отражающих поверхностей с низким коэффициентом излучения
• быстрое время реагирования - 20 измерений с высокой скоростью в секунду на канал
• дисплей на передней панели с отображением показаний температуры и коэффициента излучения для каждого канала
• компактные размеры стандарта 1/ 4 DIN
• возможность выбора до двух спектральных диапазонов